產品型號

MQ-KM1

MQ-KM2

MQ-KM3

真空室尺寸

φ1000×1000mm

φ2000×2000mm

φ3000×3000mm

真空度

≤5×10-5Pa

工作真空度

≤1.0×10-3Pa

制冷方式

載冷劑方式

復合工質方式

液氮制冷方式

熱沉+冷板

熱沉+加熱籠

液氮熱沉+加熱籠

溫度范圍

-75℃～+130℃

-110℃～+150℃

-173℃～+170℃

溫度穩定性

≤1℃/h

≤1℃/h

≤1℃/h

溫度均勻度

≤±2.0℃

≤±3.0℃

≤±5.0℃

控溫精度

±1℃

±1℃

±1℃

升降溫速率

≥1℃/Min

真空系統漏率

＜5×10-9 Pa.m3/s

噪音

真空(kong)抽氣設備(bei)噪(zao)音＜70dB

抽真空時間

常溫空載情況下能夠在4小時內將容器抽至優于1.0×10-3Pa

溫度檢測系統

系(xi)統采用多路Pt100溫度巡檢表(biao)測量(liang)多點溫度

控制監測系統

主要包括工業控制計(ji)算(suan)機、控制機柜、PLC、儀表、各種(zhong)操(cao)作控制開關等

控制器

西(xi)門(men)子可編(bian)程(cheng)控(kong)制器、通訊模塊、通訊電纜(lan)

電源電壓

380±10％ VAC，3L+N+G

標準配置

樣品拖架1套、操作手冊1份

裝置

相序保(bao)護(hu)(hu)、漏電保(bao)護(hu)(hu)、可靠(kao)接(jie)地、緊急斷電按(an)鈕、過壓、過流、超溫(wen)報警和(he)保(bao)護(hu)(hu)控制

環境要求

環(huan)境溫度(du)：5～35℃，相對濕度(du)：≤40%RH，無(wu)強烈震動(dong)、電磁輻射，周圍無(wu)粉塵(chen)及(ji)腐蝕性物(wu)質；

說(shuo)明：1、性能參數均在(zai)環境溫度為(wei)25℃，真空(kong)室空(kong)載測試；

2、可根據用戶的具體要求非標定做；

1. 本(ben)技術信息(xi)，如有變動恕不另行(xing)通(tong)知。