產品型號

MQ-KM1

MQ-KM2

MQ-KM3

真空室尺寸

φ1000×1000mm

φ2000×2000mm

φ3000×3000mm

真空度

≤5×10-5Pa

工作真空度

≤1.0×10-3Pa

制冷方式

載冷劑方式

復合工質方式

液氮制冷方式

熱沉+冷板

熱沉+加熱籠

液氮熱沉+加熱籠

溫度范圍

-75℃～+130℃

-110℃～+150℃

-173℃～+170℃

溫度穩定性

≤1℃/h

≤1℃/h

≤1℃/h

溫度均勻度

≤±2.0℃

≤±3.0℃

≤±5.0℃

控溫精度

±1℃

±1℃

±1℃

升降溫速率

≥1℃/Min

真空系統漏率

＜5×10-9 Pa.m3/s

噪音

真空抽氣(qi)設(she)備噪音＜70dB

抽真空時間

常溫(wen)空(kong)載情況下能夠在(zai)4小時(shi)內將容(rong)器(qi)抽至優于1.0×10-3Pa

溫度檢測系統

系(xi)統采用多(duo)路Pt100溫度巡檢表測量多(duo)點溫度

控制監測系統

主要包括工業控(kong)制(zhi)(zhi)計(ji)算機、控(kong)制(zhi)(zhi)機柜、PLC、儀表、各種操(cao)作控(kong)制(zhi)(zhi)開(kai)關等

控制器

西門子可編程控制器、通訊模塊(kuai)、通訊電(dian)纜

電源電壓

380±10％ VAC，3L+N+G

標準配置

樣品拖架(jia)1套(tao)、操(cao)作手(shou)冊1份

裝置

相(xiang)序(xu)保(bao)護、漏電(dian)保(bao)護、可靠接地、緊(jin)急斷電(dian)按鈕、過壓(ya)、過流(liu)、超溫報(bao)警和(he)保(bao)護控制

環境要求

環境(jing)溫度：5～35℃，相對濕(shi)度：≤40%RH，無強烈震動(dong)、電磁輻射，周圍無粉塵(chen)及腐蝕性物質；

說明(ming)：1、性能參數均在環境溫(wen)度(du)為25℃，真空(kong)室(shi)空(kong)載測試；

2、可根據用戶的具(ju)體要求非標定做；

1. 本技術信息，如(ru)有變動恕不另行通知。