產品型號

MQ-KM1

MQ-KM2

MQ-KM3

真空室尺寸

φ1000×1000mm

φ2000×2000mm

φ3000×3000mm

真空度

≤5×10-5Pa

工作真空度

≤1.0×10-3Pa

制冷方式

載冷劑方式

復合工質方式

液氮制冷方式

熱沉+冷板

熱沉+加熱籠

液氮熱沉+加熱籠

溫度范圍

-75℃～+130℃

-110℃～+150℃

-173℃～+170℃

溫度穩定性

≤1℃/h

≤1℃/h

≤1℃/h

溫度均勻度

≤±2.0℃

≤±3.0℃

≤±5.0℃

控溫精度

±1℃

±1℃

±1℃

升降溫速率

≥1℃/Min

真空系統漏率

＜5×10-9 Pa.m3/s

噪音

真(zhen)空抽(chou)氣設備噪(zao)音＜70dB

抽真空時間

常溫空載情(qing)況下(xia)能夠在4小時(shi)內將容器(qi)抽至優于1.0×10-3Pa

溫度檢測系統

系統采(cai)用多路Pt100溫度巡檢(jian)表測量多點溫度

控制監測系統

主要包括工業(ye)控(kong)制計(ji)算(suan)機、控(kong)制機柜、PLC、儀表、各(ge)種操(cao)作(zuo)控(kong)制開關等(deng)

控制器

西(xi)門子(zi)可編(bian)程(cheng)控制(zhi)器、通(tong)訊模塊、通(tong)訊電纜

電源電壓

380±10％ VAC，3L+N+G

標準配置

樣品拖(tuo)架(jia)1套(tao)、操作手(shou)冊1份

裝置

相序保護(hu)、漏電保護(hu)、可靠接地、緊急斷電按鈕、過壓、過流、超溫報警和(he)保護(hu)控制

環境要求

環境溫度(du)(du)：5～35℃，相對濕度(du)(du)：≤40%RH，無強烈震動、電(dian)磁輻射，周圍(wei)無粉塵及腐蝕性(xing)物質；

說(shuo)明：1、性(xing)能參數均(jun)在環境溫度(du)為25℃，真空室(shi)空載(zai)測試；

2、可根據用戶的具體要求非標(biao)定做；

1. 本技(ji)術(shu)信息(xi)，如有變動恕不(bu)另(ling)行通知。